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        幾個核心元素的晶圓劃切環節!
        發布時間:2022-12-22 點擊數:160

        切割機以強磨削為切割機制,空氣靜壓電主軸為執行元件,以每分鐘3000060000的速度劃定切割晶片的切割區域。承載晶片的工作臺沿著葉片與晶片接觸點之間的切割線以一定的速度直線移動,以分割每個帶有獨立電氣的芯片。在這個過程中,水源被冷卻和保護。

        晶圓切割四要素,聯動工作,缺一不可。原理很簡單,精細的工作卻不那么容易做。

        一、主軸

        砂輪劃片機主軸采用空氣靜壓支撐的電主軸。目前使用的主軸有兩種,即直流主軸和交流主軸。

        1、直流主軸

        ①為了提高冷卻效果,采用軸向強制通風冷卻或熱管冷卻。

        ②恒轉矩范圍低于基本速度,恒功率范圍高于基本速度。

        ③晶體管脈寬調制調速系統主要用于調速。通常會配備檢測元件進行反饋。

        2、水源

        主軸冷卻水和切割冷卻水是劃片機使用的兩種水源。

        3、主軸冷卻水

        顧名思義,主軸冷卻水的主要功能是冷卻和保護主軸,并在主軸內循環。必須使用去離子水,否則會堵塞主軸內部。冷卻水溫度應恒定為室溫,并可配備恒溫水箱。否則,刀痕在切割過程中容易發生偏移??諝庵鬏S是一個關鍵部件,需要定期檢查主軸水一般為6個月),以防止水垢堵塞管道,損壞主軸電機。

        4、切割冷卻水

        切割冷卻水,主要采用去離子水,可根據產品需要添加二氧化碳氣體等特殊附件,以改變水質電阻值。

        5、軟刀

        軟刀需要用法蘭固定。其優點是刀具暴露量大,可加工較厚的產品,可通過更換法蘭連續使用,性價比高。但是,采用這種固定方法后,刀具需要研磨才能達到真正的圓形效果,刀具與法蘭的接觸部分會有輕微的跳動,切割效果不好。

        6、硬刀

        硬刀通過高溫高壓將刀體固定在特殊法蘭上,出廠時可確認為真圓。由于刀體與法蘭的融合,可以加工優質產品,但生產方式決定了刀片的暴露量不能太大。通常,這種刀片的暴露量為0、301、15mm較小或較大的暴露量需要特殊定制。硬刀不能加工較厚的產品,這方面有局限性。

        刀具選擇的基本原則:即材料越硬,刀體材料越軟,材料越軟,刀體材料越硬。

        比如硬脆材料的選擇越硬,切割時就會出現背塌、背裂現象。

        根據坍塌邊緣的要求和材料的性質,選擇合適的刀體粘度、材料軟硬度、集中度、金剛砂顆粒尺寸等。

        砂輪切割機可以切割的材料很多,不同性能的材料切割工藝不同,每個參數都可以與切割的質量和效率有關。因此,在切割前分析所有因素,選擇準確的葉片是一個很重要的步驟。


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