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        造成晶圓切割過程中崩邊的原因!
        發布時間:2023-01-12 點擊數:73

             晶圓切割主要采用金剛石砂輪刀,切割過程中可能會出現崩邊,這是最常見的問題。崩邊分為前崩邊和后崩邊,原因不同。這一次我們主要分析了前崩邊的原因。

             正面崩邊分為三類:

             1、早期崩邊與新刀片安裝有關,可能是由于刀片安裝傾斜、刀片未修成真圓或金剛石未產生容削槽等原因造成的;

             2、循環崩邊可能是由于刀片表面受到沖擊,刀片表面有大顆粒金剛石凸起或其它外來雜質;

             3、造成其他崩邊的原因有刀片偏置、進速和切割深度等問題,也有可能是由于工件有位移變形而導致的異常崩邊。

             目前市場上常見的藍膜主要有224和225,可根據需要選擇不同粘度和要求的藍膜。


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